Зебрев Г.И. Физические основы кремниевой наноэлектроники: Учебное по-
собие. — М.: МИФИ, 2008. — 288 с.

Книга посвящена описанию основных физических принципов, структур и ме-
тодов моделирования, а также тенденций развития современной и перспективной
кремниевой наноэлектроники с технологическими нормами < 100 нм.
Предназначена для преподавателей и студентов, специализирующихся по на-
правлениям микро- и наноэлектроники, электроники, электронных измерительных
систем. Может быть использована в учебном процессе при подготовке учебных
курсов «Физические основы наноэлектроники», «Наноэлектронные технологии»,
«Физика микроэлектронных структур».